Edwards(愛(ài)德華)是全球真空設(shè)備與減排系統(tǒng)領(lǐng)域的先驅(qū),1919年成立于英國(guó),2014年加入瑞典Atlas Copco集團(tuán),現(xiàn)為半導(dǎo)體、光伏、鋰電池等工業(yè)領(lǐng)域真空技術(shù)的頭部供應(yīng)商。其產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和智能化著稱(chēng),全球市場(chǎng)份額接近50%,尤其在半導(dǎo)體真空泵領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先地位。
核心工業(yè)產(chǎn)品系列與熱銷(xiāo)型號(hào)
1. 工業(yè)干式真空泵系列
GXS系列(干式螺桿泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):GXS160、GXS250、GXS450、GXS750(可搭配高速羅茨增壓泵)
特點(diǎn):高效處理腐蝕性氣體與微粒,長(zhǎng)維護(hù)周期(達(dá)5年),適用于鋰電池注液、化工蒸餾等高污染場(chǎng)景。
GV系列(大型工業(yè)干泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):GV600、GV400
特點(diǎn):大流量、低能耗,專(zhuān)為光伏鍍膜、工業(yè)脫氣等連續(xù)作業(yè)設(shè)計(jì),支持5年免拆洗維護(hù)。
2. 半導(dǎo)體專(zhuān)用泵系列
iH系列(爪式干泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):iH600、iH1000、iH1800
特點(diǎn):高潔凈度、低振動(dòng),用于300mm晶圓制造中的PECVD/LPCVD工藝,兼容顆粒與腐蝕性氣體。
QDP/iQDP系列(干式爪泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):QDP80、iQDP40
特點(diǎn):模塊化設(shè)計(jì),集成智能控制,適用于半導(dǎo)體潔凈室的快速抽空需求。
3. 羅茨真空泵系列
EH系列(機(jī)械增壓泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):EH2600、EH4200
特點(diǎn):高抽速、寬壓力范圍,作為前級(jí)泵用于半導(dǎo)體設(shè)備、冶金工藝等高流量場(chǎng)景。
MB系列(大型羅茨泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):MB5700
特點(diǎn):超大功率輸出,適用于工業(yè)級(jí)連續(xù)運(yùn)行(如鋼鐵冶煉、化工反應(yīng)釜)。
4. 油封式真空泵系列
EM系列(大型油封泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):E2M80、E2M275
特點(diǎn):高極限真空、低噪音,用于變壓器干燥、燈具制造等粗真空?qǐng)鼍啊?/p>
RV系列(小型油封泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):RV12、RV8
特點(diǎn):雙模式切換(高流量/高真空),適用于實(shí)驗(yàn)室、小型工業(yè)設(shè)備配套。
5. 特殊工業(yè)應(yīng)用泵
EDC系列(爪式干泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):EDC300、EDC500
特點(diǎn):耐腐蝕涂層、蒸汽消毒兼容,專(zhuān)為食品加工、醫(yī)療滅菌設(shè)備設(shè)計(jì)。
nXDS系列(渦卷干泵)
熱銷(xiāo)型號(hào):nXDS20i
特點(diǎn):緊湊型設(shè)計(jì),低能耗,適用于精密儀器與潔凈室環(huán)境。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)與工業(yè)應(yīng)用價(jià)值
高效節(jié)能:采用干式無(wú)油技術(shù)減少污染,GXS系列能耗降低30%,環(huán)保模式可進(jìn)一步節(jié)省20%電力。
極端環(huán)境適應(yīng)性:iH系列耐受腐蝕性氣體與微粒,MB系列可處理高溫粉塵,EM系列蒸汽處理能力達(dá)220g/hr。
智能化控制:集成傳感器與遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),實(shí)時(shí)預(yù)警維護(hù)需求,減少停機(jī)時(shí)間。
定制化方案:針對(duì)光伏、鋰電池等新興行業(yè),提供從泵組到減排系統(tǒng)的整體解決方案(如EZENITH集成系統(tǒng))。
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